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第五十章 成功

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很快,dUV浸润式光刻机的控制台和互联网链接成功。

屏幕上,注册软件自动运行。

“链接未来科技公司服务器成功。”

“机器注册中……”

“注册成功!”

“获得测试授权,授权期限为15天。”

伯灵院士看到屏幕上显示的文字后,脸上压抑不住的激动。

现在,最关键的控制系统已经安装到位,整台dUV浸润式光刻机已经完整,可以开始进行测试。

只要测试合格,种花国第一台dUV浸润式光刻机将要在他手中诞生,将要在海上微电公司诞生。

不管是对他而言,还是对海上微电公司而言,这将是无上的荣耀。

“韩总,可以了吗?如果可以,我想马上开展测试。”伯灵院士无法压制心中的激动。

玻璃隔断外,听到伯灵院士的话,科学院的几个院士身体前倾,眼神羡慕的看向伯灵院士。

“伯灵的运气真好!让他捡到那么大的便宜!主持种花国第一台dUV浸润式光刻机的生产,如果这次成功了,他的名字将会留在教科书上。”

到了院士级别,金钱、地位都不缺,他们想要的是,如同其他科学巨匠一样,将名字留在教科书上,留在历史书上。

“伯灵院士,请等一下……我给你们的设计图中,带有自检模块,刚才安装的控制程序中,也带有自检模块的软件。”

“通过软硬件配合。”

“可以对工件台的移动精度,定位精度,移动速度进行自检。”

“同样的,控制程序带有的自检模块,可以对光源的功率,光源波长的纯度进行自检。”

“也可以对镜头的透光率,清洁度,安装位置是否偏移进行检测。”

“只要检测通过,就说明光源和工作台是能够正常工作,可以进行芯片加工。”韩阳一脸认真的说道。

伯灵院士听后,直接瞪圆了眼睛,有些不敢置信的说道,“你的意思是,只要通过软件自检,就说明这台dUV浸润式光刻机质量合格,可以来用进行芯片生产?”

“不是!”韩阳摇了摇头,然后继续说道,“这台dUV浸润式光刻机的光源、镜头、工作台是按照我的设计图来加工生产的,带有我专门设计的自检模块。”

“通过自检,只能说明光源、镜头、工件台没有问题。”

“机器的其他是你们自己设计生产的,有没有问题我不清楚。”

“对了,伯灵院士,你们设计的部分,带有自检模块吗?如果带有自检模块,我提供ApI,你们可以把这三样的自检模块整合到机器的整体自检模块中。”韩阳一脸认真的说道。

太先进了!比ASmL的机器还要先进!这是伯灵院士的第一反应。

想到自家设计的自检模块,伯灵院士脸上露出苦笑。

他们原来的设计图上也有自检模块,但自检模块的检测能力和韩阳设计的部分,根本就不是一个时代的产物。

只能检测零部件是否损坏,是否通电。

和韩阳设计的自检系统相比,非常落后。

看着韩阳那认真的眼神,伯灵院士苦笑着说,“韩总,我们的自检模块做不到这种程度。”

“需要进行质量检测。”

然后,他眼神炙热的看向韩阳,“韩总,我记得你说过,要提供全套技术给我们。”

“等第一台机器试验通过后,请你将自检模块的设计提供给我们,好吗?”

“没问题!但需要一些时间。”韩阳点了点头,开始给伯灵院士演示自检模块的使用方法。

“开始进行光源、工作台、镜头自检……”

“自检中……”

“光源自检完成,光源稳定输出功率300瓦,光波193纳米,设备正常。”

“工作台运行正常,运行精度2纳米。”

“镜头工作正常,透光率,清洁度,安装位置达到生产要求。”

“自检完成,核心组件运行正常。”

在韩阳运行自检程序的时候,所有人都紧张的盯着大屏幕看,看到自检系统提示,核心组件运行正常的时候,所有人都松了一口气。

然后,所有人都看向了伯灵院士。

“测试组,安装硅片!”

“安装测试掩膜!”

在测试组的紧张工作下,所有准备工作完成。

伯灵院士又仔仔细细检查了一番机器的状态,最终对韩阳说,“韩阳,你来和我一起按下这个生产按钮!”

“好!”韩阳没有推迟,他大步来到伯灵院士身边,然后和紧张得浑身冒汗的伯灵院士,一起按下了红色的启动按钮。

顿时,一块硅片被传送装置送到中间的工件台上。

工件台将硅片位置固定后,工件台快速而又精准的移动到镜头的下方。

蓝紫色的光芒从镜头中照射而出,照射到硅片上。

每一次蓝紫色的光芒闪过,工件台就以极快的速度移动,速度极快,如同幻影一般。

很快,第一批加工好的硅片从机器的左边被传送出来,然后被机械手臂传送到下一台机器中进行显影,清洗,烘干等操作。

最终,经过一系列处理的硅片,被送到纳米级光学显微镜下观察。

显微镜观察到的画面,同步投影到大屏幕上。

科学院的几个专家全神贯注的看向大屏幕,足足看了十多分钟,科学院光电所的吴起院士声音中带着喜悦开口。

“光刻位置定位准确!”

“图形套刻准确,边缘整齐!界线清晰!”

“芯片图案清晰,无光晕,无皱褶,无重叠现象!”

“从光刻的角度来看,这块硅片的光刻完成得非常优秀。”

“ASmL的光刻机制造的硅片,也只是这个水平。”

“当然,最终的结果要等这些硅片切割制作成为cpU后,测试cpu中的电路情况来定。”

“但我初步判断,这台dUV浸润式光刻机已经成功了!”

随着吴起院士的这句话,全场爆发出无比激动的掌声,所有人都在鼓掌,在欢呼。

“我们终于做到了!”

“我们再也不用仰仗别人的鼻息!”

“等我们的dUV浸润式光刻机量产,就是我们反攻的时候,不卖给我们,我们要让他们的光刻机烂在仓库中。”

“芯片问题,最关键的生产问题,终于被我们解决了。”所有人都很激动。

种花国在芯片产业上最大的问题,就是生产问题,只要解决了这个问题,就能迎来巨大的腾飞和发展。

李侍郎接过话筒,他的声音中也带着无法抑制的激动,“祝贺你,伯灵院士!祝贺你们,海上微电公司!你们开创了一个新的时代。”

“这次研制dUV浸润式光刻机成功,最核心、贡献最大,最关键的人是韩阳!”

“在这里,我由衷的感谢你的帮助!”李侍郎停顿了一下,当着众人的面,向韩阳鞠了一个躬。

其他人见状,也一脸认真的向韩阳鞠躬。

所有人都知道,没有韩阳提供的关键部件设计图,dUV浸润式光刻机根本就不可能搞出来。

“如果没有你的帮助,没有你提供的技术支撑,我们或许还需要5年的时间,才能将国产dUV浸润式光刻机研制出来。”

“你是dUV浸润式光刻机国产化的最大功臣!”

“你的名字,会被写入国家光刻机的发展史!你的贡献会被所有人铭记!”李侍郎无比郑重的承诺。

科学院的院士们,听到李侍郎的话后,眼神中全是羡慕,名字写入教科书,是他们的梦想。

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