第57章 最佳球员的新论文
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2月19日,AC米兰客场对阵佛罗伦萨,孙凯文终于首发出场,这是意甲下半赛季的首场比赛,他被委以重任,在范巴斯滕受伤的情况下,与维尔迪斯扛起米兰进攻的大旗。
上半场的比赛有点沉闷,双方都没有太好的机会,今天佛罗伦萨的后卫线特别注重协防保护,整个半场几乎都没有太好机会的孙凯文,终于等到了米兰的进攻角球的机会,这时候时间已经到了45分钟,这个角球是上半身AC米兰的最后一击。
多纳多尼的角球罚向前点,前点是维尔迪斯的位置,在对方后卫的紧逼下,维尔迪斯只能用头皮蹭一下皮球,皮球快速窜向后点。对方后卫对这个变向似乎有些意外,后点附近的防守球员还没来得及反应过来,空中就压过来一片阴影,那是高高跃起的孙凯文。
作为一个不太称职的系统(孙凯文这么说小元),在计算方面还是没问题的,多纳多尼的角球踢出,维尔迪斯的头球后蹭,小元已经把相应的线路和落点可能告诉了孙凯文,使得他能提前卡位,锁定飞来的皮球,孙凯文的弹跳能力,一旦腾空,就基本没有人能防得住他的头球,平常的训练中,这个超高进球率的区域,被队友戏称为“AeroofSun”-太阳(Sun)区域。
果然,这次也一样,皮球在这个地方被孙凯文狠狠砸入网窝,AC米兰在上半场即将结束时,利用一次角球的机会,由孙凯文头球得分完成领先。
下半场换边继续,AC米兰牢牢掌握主动权,又由安切洛蒂在78分钟后插上破门,打入第二粒进球,这球彻底摧垮了佛罗伦萨的斗志,双方直到终场也没有再改变比分,米兰客场2:0拿走两分。
接下来的主场对阵佩斯卡拉的,孙凯文再次首发登场,在满场球迷的“SunSun”的欢呼声中,他梅开二度,第一次被评为全场最佳球员,米兰也以6:1大胜对手,下半赛季开门红两连胜,球队的联赛积分跃居第二位,仅次于排名榜首的那不勒斯,依然有联赛冠军的竞争力。
在米兰理工大学,孙凯文身兼MPEG专家组的成员,这段时间他又发表了几篇相关的论文,各种音视频专利注册了一大把,年纪轻轻就成了领域内的专家人物,在沉甸甸的技术成果面前,已经没有人再质疑他的年轻。
最近,他又注意到一个领域,那是1987年林本坚应邀在研讨会中发表的有关光学微影的论文。
当时林本坚论文的主题是有关“光学微影的蓝图,将来会碰到什么瓶颈,有什么方法突破这些瓶颈”。当光学微影的解析度提高时,景深会随着下降;而且下降的速度会比解析度增加的速度快,迟早会碰到景深的瓶颈。
随着业界1000纳米技术的量产,可遇见193纳米波长,很难再有突破,13.4纳米的极紫外光(EUV)遥不可及,大家的希望都寄託在157纳米的波长上。
林本坚创意式提出了到了没有其他方法时,浸润式可以解决问题的思路。
可惜这个思路并没有进行下去,当时全世界的研发方向都朝向157纳米,不但有很多厂商和研发单位投注到这波长,而且全球对157纳米技术投入巨资,他们不希望有一种新的颠覆性的技术出现。
孙凯文就此发表了新的论文,他分析了157纳米和134纳米,不认为这两个技术能及时解决问题,让摩尔定律按进度迈进。
这是继林本坚之后,
再次提出浸润式的可能性,同时他并发表了浸润式设备及操作的示意图,同时注册了专利,在论文中,孙凯文列举了他的理由:
首先,157纳米这波长很不好掌握,主要原因之一穿透率很低,只有少数可用的介质是透明的,这波长一共有五个瓶颈需要突破:
1、镜头的材料:唯一有希望的介质是单结晶的二氟化钙(CaF2),可是要做出20–30公分大小的完美结晶非常困难,时间非常漫长,在这期间所需的温度、拉速、震动、周遭的环境等都不能有任何变动。这么长的学习周期,用数百个熔炉都无法改进学习的速度。
2、感光物质的穿透率及耐蚀刻性,也令发展光阻的高手伤透脑筋。
3、光罩的材料因二氟化钙价钱太高,而且不耐用,只好用穿透率差的石英,对高准确度的成像有影响。
4、在光罩的聚焦区以外的平面有一层透明的护膜,作用是挡开会附在光罩上产生影像瑕疵的微粒,在157纳米的波长发展不出既透明又能伸展的薄膜。用石英的硬片取代则产生无应力把硬片吸附在光罩上的难题。
5、空气中的氧气会吸收157纳米的光,光经过的整个路径必须只有氮气,造成很多不便,会增加制造的成本,而且如果意外漏出太多氮气有致命性。
孙凯文在紧接着的第二篇论文里,发表了他的解决方案,根据实验室数据,水在193纳米波长的折射率是1.46,水在157纳米波长的折射率是量不出来的,因为不透光。
奇妙的是,因为水的折射率在一般的波长是1.3多。所以在一般波长下用水做浸润式的介质只能改进30%多,但若改成现在可用的最短波长193纳米,1.46的折射率特性,水能把解析度增加46%!
水是半导体生产线上大量使用的液体,接受度不成问题。换算一下,157纳米只比193纳米短23%,也就是只能把解析度提高23%,而用193纳米加水可以提高46%,几乎是两倍!
光在进入水前的波长是193纳米,只在水中变短为132纳米,可以避开所有157纳米的困难,能改进46%,又容易被半导体业接受。
这两篇论文,再次引起了业界的高度关注。
3月15日,欧洲冠军杯的第三场淘汰赛第二场开战,对阵双方是米兰对阵德甲劲旅不莱梅,之前的客场比赛,AC米兰1:1逼平了对手。
为了准备主场比赛,AC米兰的主力在联赛中做了一些轮换,1:1客场逼平拉齐奥,紧接着就是3月12日主场对尤文图斯,一场硬仗。
考虑到球队的多线作战,萨基做出了一个大胆的阵容安排,几乎以全替补出阵联赛,令人意外的是,这帮替补超水平发挥,居然在主场4:0掀翻强大的尤文图斯,孙凯文首发出场,并且打满全场,在对方乌龙球导致落后不到两分钟就补上一刀,脚后跟秒传埃瓦尼,让后者把比分扩大到两球,在下半场孙凯文更是独中两元,整场比赛两射一传,再次被评为全场最佳球员。